電子級氣體可能存在窒息性、腐蝕性、毒性、易燃易爆性等危險，其危害性被不同區(qū)域和不同的工業(yè)進行了詳細的危險等級分類。所以電子級其他的安全是十分重要的，和立氣體(上海)有限公司就為大家講一講關于電子級其他的安全問題。

如何保證電子級氣體的安全儲存、使用操作，系統(tǒng)的工藝和產品本征安全設計，在眾多的國際標準規(guī)范如SEMI，NFPA，CGA，F(xiàn)M等都有很詳細的規(guī)定，目前中國國內也正在起草針對電子特種氣體的標準規(guī)范。通常而言，會根據氣體性質和相容性，將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷氣體房、三氟化氯氣體房等。氣體房規(guī)劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物總量等等。針對硅烷輸送系統(tǒng)，特別是BSGS系統(tǒng)，因總量較大，應采用隔離式建筑。氣體房和氣柜應采用自動噴淋系統(tǒng)。而三氟化氯遇水反應，需要采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

輸送管道一般采用無縫SS316L EP管。施工采用自動軌道焊接，經保壓、氦檢漏和純度測試。對于劇毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。一些劇毒氣體如磷烷、砷烷等，安全輸送系統(tǒng)（SDS）正在被使用。其鋼瓶內采用負壓吸附的方式，用真空法輸送，從根本上避免了氣體的泄漏。

氣體偵測系統(tǒng)(GDS)是全廠生命安全系統(tǒng)（LSS）的重要組成部分。對于偵測器的要求，除了精度高，反應迅速外，還應具備自檢功能。

對于一個大規(guī)模量產的電子工廠，其使用和存儲的電子級氣體數(shù)量之多可以毫不夸張地被視為擁有“大規(guī)模殺傷性”武器庫。任何設計上、施工中、日常運行里存在的安全問題都會對工廠、人員和環(huán)境帶來巨大的災難。

使用電子級氣體的工廠抽風系統(tǒng)也根據性質分成了普通排風系統(tǒng)(GEX)，酸性排風系統(tǒng)(SEX)，溶劑排風系統(tǒng)(VEX)和氨氣排風系統(tǒng)(AEX)。換鋼瓶時的吹掃尾氣，也建議排放至尾氣處理器中。

電子級安全日趨嚴格，而且安全問題關乎你我他，大家需要十分重視。那么如果您有電子級其他的需求，請聯(lián)系和立氣體(上海)有限公司，我們將竭誠為您服務！